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新聞資訊

新一代產品----金剛石擦洗墊

DSP （金剛石擦洗墊）是新一代清洗工具，主要用于半導體設備的預防性維護清洗。純金剛石被涂在聚酰胺薄膜（聚酯薄膜）上?？商峁┎煌你@石大小和墊形狀

為提高生產率而設計

更快                清洗

更少                顆粒和污染物的產生

更短               工具再鑒定時間

更短                 預防性維護總實際

更長                保養周期

更長             工具生產可能性

 

適用于防止陽極氧化鋁、陶瓷等關鍵表面的損壞…








    • 擦洗領域

      • 通過真空室的過程 :

        • 離子注入

        • 干蝕刻

        • CVD  PVD

        • ALD

? 快速清洗工具和零件表面:

      • 材料:

        • 鋁 / 陽極氧化鋁

        • 不銹鋼

        • 陶瓷

        • 石英玻璃

        • 石墨

        •  Chemat 清洗過程

        • 鋁蝕刻

        • CVD 室清洗

        • CVD 圓頂清洗

        • 介質蝕刻室清洗 (聚氧化物)

        • 蝕刻室零件清洗 (插入件)

        • 注入套管清洗

        • 注入零件清洗 (Insitu or Exsitu)

        • 金屬蝕刻室清


          • DSP 粗糙度類型可用性

         

         

         

         

        細 中 粗

         

        Mesh

        3 000

        1 600

        600

        250

        250D

        220

        170

         

        Grit

        2000

        1350

        1350

        800

        450

        400

        360

        320

        320

        280

        280

        220

        180

        120

        μm equiv.

         

        6

         

        12

         

        35

         

        80

         

        80

         

        95

         

        120

         

        產品即將上線中?。?！